波长:172nm长度:50-2500mm管径:15-44mm强度:50-100mw/cm2寿命:1500-2000小时功率:20-2500瓦冷却方式:水冷/气冷氮气吹扫:可选用途:晶圆清洗、vuv清洗
紫外线准分子灯波长短,比低气压UV放电管具有更快的处理速度和更广泛的**物处理对象;波长单一,波长范围窄,172正负10nm,发光效率高。红外线发生量少,温度低,对产品影响小;可瞬间点灯,省去待机准备的时间;照射的同时可进行除静电处理;放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生影响。
准分子灯照射uv涂料消光原理?
破坏涂膜的光滑性,增大涂膜的表面微观粗糙度,降低涂膜表面对光线的反射。
UV准分子放电灯,又称紫外线准分子灯,是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的稀有气体进行轰击发出单一的172nm紫外线,光子能量达696KJ/mol,**绝大多数**分子键能。利用其单一的高强紫外线,可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性,处理效果好,速度快。
准分子光源作用原理
基于准分子光源特点,我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例,紫外线照射固体表面后,表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化,而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质,终挥发消失,被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能,同时物质的能量吸收(激发)越大,越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较,光强**大,靶向,无汞制造,绿色环保,可回收,没有污染。与低压紫外灯的185nm波长相比,准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧,而且通过直接作用于氧气,可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
准分子灯功能应用
1、增加表面能量和亲水性
准分子通过增加表面能来“激活”表面,表面能以每米毫牛顿 (mN/m) 为单位。表面能决定了流体和固体表面之间的接触角。准分子光清洗作为其他清洗设备对表面处理的替代品,准分子的冷光大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构,从而保证更好的粘接结果为了确保附着力和均匀分布。例如在印刷和粘合等应用中,需要实现更小的接触角,提高清洁度。
虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途,但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时,清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。
2、更广泛的应用范围
在某些情况下,可以实现完全亲水化,其中整个表面变得润湿。此时,液体的接触角达到零度,将液滴转化为液膜。目前,准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。
准分子是一种在激发态结合而基态离解的受激二聚体。准分子激光的跃迁发生在束缚的激发态到排斥的基态,属于束缚 – 自由跃迁。其特点是基态不稳定,一般在振动弛豫时间内便分解为自由粒子,而其激发态以结合的形式出现并相对稳定,以的形式衰减,因而准分子激光具有高增益的特点。准分子激光器是紫外波段大能量激光光源,是一种脉宽为几十纳秒的紫外气体激光器。由于具有光子能量高、波长短、空间相干性低(不易产生干涉条纹)等一系列优势,准分子激光是目前有效、适合大规模工业生产的深紫外光源,在集成电路光刻、医疗、材料加工、科研等领域具有广泛的应用。
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