生产厂家 172nm准分子晶圆清洗

在工业应用中，常用的准分子波长是172 nm，当工业基材表面覆盖了污染物时，污染物可以是**物质，例如脂肪和／氧化物。172 nm波长的准分子灯可以直接破坏基材表面的分子键，其残留物被留在表面。在准分子模块和基材之间的空气间隙中，在172 nm的下，会产生高能氧自由基和臭氧，自由基会氧化残留物并将其去除。
172 nm波长准分子灯应用领域：
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：
□ 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；
□ 表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）；
□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；
□ 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；
□ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电；
□ 表面活化，以增加表面张力和湿润性；
□ **降解。除总**碳（TOC）制取**纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

准分子光源特点：
□ 单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高，可达100mW/cm2；
□ 非相干光有利于大面积加工；
□ 无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长；
□ 可随时瞬间开启熄灭，*预热，*快门，开关次数不影响使用寿命；
□ 开启和运行不受周围环境温度影响；
□ 冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应；
□ 绿色环保。制造*用汞，**次污染和废旧回收处理问题。

准分子灯功能应用
1、增加表面能量和亲水性
表面能以每米毫牛顿 (mN/m) 为单位。表面能决定了流体和固体表面之间的接触角。准分子光清洗作为其他清洗设备对表面处理的替代品，准分子的冷光大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构，从而保证更好的粘接结果为了确保附着力和均匀分布。例如在印刷和粘合等应用中，需要实现更小的接触角，提高清洁度。
虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途，但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时，清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。
2、更广泛的应用范围
在某些情况下，可以实现完全亲水化，其中整个表面变得润湿。此时，液体的接触角达到零度，将液滴转化为液膜。目前，准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。

准分子光源作用原理
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收(激发)越大，越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强**大，靶向，无汞制造，绿色环保，可回收，**次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
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